Việc mở rộng sản xuất cacbua silicon thúc đẩy sự phát triển nhanh chóng của các thiết bị đặc biệt
Jul 28,2022
Các thiết bị năng lượng cacbua silicon đang tăng tốc thâm nhập vào ô tô và các lĩnh vực ứng dụng khác, cho thấy không gian thị trường khổng lồ và thu hút các nhà sản xuất khác nhau để tăng sự mở rộng sản xuất. Sau khi dòng 8 inch đầu tiên của Wolfspeed được đưa vào sản xuất, Tập đoàn Bosch, Rohm, Infineon, Toshiba gần đây, việc mở rộng và xây dựng các dây chuyền sản xuất silicon cacbua mới cũng đã được công bố.
So với các dây chuyền sản xuất silicon wafer truyền thống, quy trình sản xuất cacbua silicon mang lại nhu cầu khác nhau trên thiết bị.
Giuseppe Arena, giám đốc dự án thiết bị năng lượng ô tô của Stmicroelectronics, cho biết do các đặc tính vật lý và hóa học độc đáo của vật liệu băng thông rộng, quy trình sản xuất cacbua silicon khá khác với các thiết bị năng lượng dựa trên silicon truyền thống trong tăng trưởng epiticular, Ion Implant. và ủ nhiệt độ cao. Các mô -đun như buồng đặc biệt được thiết kế để kiểm soát các khiếm khuyết và cải thiện năng suất. Các công cụ đặc biệt cũng được yêu cầu trong khắc, mỏng và các liên kết khác.
Khi quá trình và thiết bị trưởng thành, một số công ty IDM đang xem xét chuyển đổi dây chuyền sản xuất silicon wafer 6 inch lỗi thời thành dây chuyền sản xuất cacbua silicon. Các chuyên gia trong ngành ước tính rằng họ chỉ cần 20 triệu đô la đầu tư của Mỹ để điều chỉnh quy trình và mua một lượng nhỏ thiết bị đặc biệt. Loại chuyển đổi dây chuyền sản xuất này có thể được hoàn thành.
Hiện tại, Bộ phận Lao động và Chuyên môn đã bắt đầu xuất hiện trong lĩnh vực này và các công ty như X-FAB đã đặt chân vào doanh nghiệp Foundry cacbua Silicon.
CLAS-SIC, nằm ở Scotland, Vương quốc Anh, vận hành dây chuyền sản xuất cacbua silicon 6 inch. 10-15% dây chuyền sản xuất là thiết bị silicon chuyên dụng và hầu hết các thiết bị còn lại được tân trang lại từ các dây chuyền sản xuất silicon wafer. Công ty chịu trách nhiệm theo Rae Hyndman, ngành công nghiệp silicon cacbua cũng phải đối mặt với các tắc nghẽn giao hàng khi mua thiết bị cũ.
Thị trường silicon cacbua hứa hẹn, và nó cũng thu hút các nhà sản xuất thiết bị tăng đầu tư vào lĩnh vực này. David Haynes, một chuyên gia kỹ thuật tại Fanlin, nói rằng thách thức chung mà các thiết bị được phát triển cho các quy trình wafer silicon khi xử lý chất nền silicon cacbua là sau này. Gần như trong suốt ở các vùng có thể nhìn thấy và gần hồng ngoại, mô-đun phát hiện cần được tối ưu hóa.
Một người khổng lồ thiết bị khác, vật liệu ứng dụng, cũng đã ra mắt một số thiết bị cacbua silicon đặc biệt. Các thiết bị CMP của nó được thiết kế cho các đặc tính vật lý và hóa học đặc biệt của cacbua silicon được cho là làm giảm đáng kể các khiếm khuyết bề mặt của các tấm silicon carbide, theo Sally Ann Henry, giám đốc phát triển kinh doanh của Công ty Shengmei. Nói rằng thị trường thiết bị đặc biệt silicon carbide hiện tại vẫn đang trong giai đoạn đầu phát triển và hầu hết các IDM vẫn đang vận hành dây chuyền sản xuất 6 inch. (Công cụ cầu) sẽ rất hấp dẫn. Thiết bị như vậy có thể được giới thiệu trong dây chuyền sản xuất 6 inch trước. Bởi vì nó được trang bị mô-đun phát hiện tiên tiến nhất, nó có thể nhanh chóng thích ứng với dây chuyền sản xuất 8 inch trong tương lai sau khi thay thế các mô-đun cố định, tải và dỡ tải. Dây điện.
So với các dây chuyền sản xuất silicon wafer truyền thống, quy trình sản xuất cacbua silicon mang lại nhu cầu khác nhau trên thiết bị.
Giuseppe Arena, giám đốc dự án thiết bị năng lượng ô tô của Stmicroelectronics, cho biết do các đặc tính vật lý và hóa học độc đáo của vật liệu băng thông rộng, quy trình sản xuất cacbua silicon khá khác với các thiết bị năng lượng dựa trên silicon truyền thống trong tăng trưởng epiticular, Ion Implant. và ủ nhiệt độ cao. Các mô -đun như buồng đặc biệt được thiết kế để kiểm soát các khiếm khuyết và cải thiện năng suất. Các công cụ đặc biệt cũng được yêu cầu trong khắc, mỏng và các liên kết khác.
Khi quá trình và thiết bị trưởng thành, một số công ty IDM đang xem xét chuyển đổi dây chuyền sản xuất silicon wafer 6 inch lỗi thời thành dây chuyền sản xuất cacbua silicon. Các chuyên gia trong ngành ước tính rằng họ chỉ cần 20 triệu đô la đầu tư của Mỹ để điều chỉnh quy trình và mua một lượng nhỏ thiết bị đặc biệt. Loại chuyển đổi dây chuyền sản xuất này có thể được hoàn thành.
Hiện tại, Bộ phận Lao động và Chuyên môn đã bắt đầu xuất hiện trong lĩnh vực này và các công ty như X-FAB đã đặt chân vào doanh nghiệp Foundry cacbua Silicon.
CLAS-SIC, nằm ở Scotland, Vương quốc Anh, vận hành dây chuyền sản xuất cacbua silicon 6 inch. 10-15% dây chuyền sản xuất là thiết bị silicon chuyên dụng và hầu hết các thiết bị còn lại được tân trang lại từ các dây chuyền sản xuất silicon wafer. Công ty chịu trách nhiệm theo Rae Hyndman, ngành công nghiệp silicon cacbua cũng phải đối mặt với các tắc nghẽn giao hàng khi mua thiết bị cũ.
Thị trường silicon cacbua hứa hẹn, và nó cũng thu hút các nhà sản xuất thiết bị tăng đầu tư vào lĩnh vực này. David Haynes, một chuyên gia kỹ thuật tại Fanlin, nói rằng thách thức chung mà các thiết bị được phát triển cho các quy trình wafer silicon khi xử lý chất nền silicon cacbua là sau này. Gần như trong suốt ở các vùng có thể nhìn thấy và gần hồng ngoại, mô-đun phát hiện cần được tối ưu hóa.
Một người khổng lồ thiết bị khác, vật liệu ứng dụng, cũng đã ra mắt một số thiết bị cacbua silicon đặc biệt. Các thiết bị CMP của nó được thiết kế cho các đặc tính vật lý và hóa học đặc biệt của cacbua silicon được cho là làm giảm đáng kể các khiếm khuyết bề mặt của các tấm silicon carbide, theo Sally Ann Henry, giám đốc phát triển kinh doanh của Công ty Shengmei. Nói rằng thị trường thiết bị đặc biệt silicon carbide hiện tại vẫn đang trong giai đoạn đầu phát triển và hầu hết các IDM vẫn đang vận hành dây chuyền sản xuất 6 inch. (Công cụ cầu) sẽ rất hấp dẫn. Thiết bị như vậy có thể được giới thiệu trong dây chuyền sản xuất 6 inch trước. Bởi vì nó được trang bị mô-đun phát hiện tiên tiến nhất, nó có thể nhanh chóng thích ứng với dây chuyền sản xuất 8 inch trong tương lai sau khi thay thế các mô-đun cố định, tải và dỡ tải. Dây điện.